高純電子化學品潔凈度判定方法

高純電子化學品是大規模和超大規模集成電路 ( IC)制作過程中的關鍵性基礎化工材料，在清洗、光刻 、蝕刻和去膠等許多工序都要使用，它的純度和潔凈度對集成電路的成品率 、電性能及可靠性有著十分重要的影響。由于半導體元件越來越小，集成度越來越高 ,超大規模集成電路可在 30 mm ×30 mm 的芯片上集成上千萬個元件，工藝技術的精密度非常高，而且IC產品更新換代速度極 快 ，三年即為一代，也就是說一代IC制作技術需要一代的高純電子化學品與之配套 ,因此對高純電子化學品質量要求越來越高。

PMT-2液體顆粒計數器采用英國普洛帝核心技術創新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統，可以對清洗劑、半導體、超純水、電子產品、平板玻璃、硅晶片等產品的在線或離線顆粒監測和分析，目前是英國普洛帝分析測試集團向水質領域及微納米檢測領域的重要產品。

PMT-2液體顆粒計數器有在線和離線兩種模式，可以對高純電子化學品的潔凈度進行判定。