基于空氣粒子計數器的潔凈室實時顆粒管控技術方案

一、技術選型與標準適配

00001. ?粒徑范圍?

· 需覆蓋0.1μm~10μm的顆粒檢測，半導體/醫藥行業需重點關注0.3μm~5μm的敏感粒徑。

· 激光粒子計數器（如0.1μm分辨率）適用于高精度場景，光散射法傳感器適合成本敏感型應用。

00002. ?流量選擇?

· 大流量（28.3L/min）適用于快速掃描，小流量（2.83L/min）適合高精度區域監測。

00003. ?合規性?

· 設備需符合ISO 14644-1、GMP等標準，校準需遵循JJF1190-2008規范。

二、實時監測系統架構

· ?硬件組成?

· 粒子計數器（多測點布局）、浮游菌采樣器（制藥行業）、溫濕度傳感器。

· 數據采集模塊支持Modbus/RS485協議，實現設備互聯。

· ?軟件功能?

· 動態閾值預警（如ISO 5級超標自動報警）、數據可視化看板、歷史趨勢分析。

· 支持與FFU風機、HVAC系統聯動，實現凈化強度自動調節。

三、行業差異化方案

四、實施關鍵步驟

00001. ?測點布置?

· 層流室≥20個測點，亂流室每50㎡設5個，高度1m（參考ISO 14644-2）。

00002. ?狀態區分?

· 動態檢測數據（生產狀態下）比空態/靜態更具實際參考價值。

00003. ?維護校準?

· 每6個月校準激光光源，定期清潔采樣口避免堵塞。

五、數據管理與擴展功能

· ?數據存儲與分析?

· 采用云端存儲技術，確保數據的安全性和可追溯性。

· 通過高級分析工具，識別顆粒物來源和趨勢，優化管控策略。

· ?擴展功能?

· 集成AI算法，預測潛在污染事件，提前采取預防措施。

· 支持移動端訪問，實現遠程監控和管理。